Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT)

Das Fraunhofer ISIT entwickelt und fertigt Bauelemente der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik, angefangen beim Entwurf einschließlich der Systemsimulation, über Prototyping, Bemusterung bis hin zur Serienherstellung. Die Bauelemente, beispielsweise Ventile, Ablenkspiegel oder Bewegungssensoren, wie sie im Fraunhofer ISIT entstehen, sind oft nur Bruchteile von Millimetern groß und ihre Einsatzgebiete sind vielfältig: In der Medizin werden sie gebraucht, in der Umwelt- und Verkehrstechnik, in der Kommunikationstechnik, im Automobil- und im Maschinenbau. Das ISIT entwickelt solche Bauelemente im Kundenauftrag und realisiert auch die anwendungsspezifischen Schaltkreise (ASIC), die zum Betrieb von Sensoren und Aktuatoren erforderlich sind. In dieser Dienstleistung eingeschlossen ist die Integration zum Gesamt-System mittels miniaturisierter Aufbau- und Verbindungstechniken. Das Institut betreibt zusammen mit der Firma Vishay Siliconix Itzehoe GmbH eine professionelle Halbleiterproduktionslinie mit alle n erforderlichen Qualitäts-Zertifizierungen (z. B. ISO 9001, TS 16949). Diese Linie wird sowohl für die Produktion von mikroelektronischen Bauelementen (PowerMOS) und Mikrosystemen als auch für die Entwicklung neuer Bauelemente und technologischer Prozesse genutzt.