Elektroätzung

Elektroätzen ist ein chemisches Bearbeitungsverfahren mit dem Metalle oder Metallschichten mit Unterstützung eines elektrischen Stromes abgetragen werden können. Hierbei befinden sich in einer Flüssigkeit, dem Elektrolyten, zwei Elektroden - Anode und Katode. Das zu bearbeitende Werkstück stellt die Anode dar. Wird nun der Strom angelegt, lösen sich aus der Anode Metallionen und wandern durch den Elektrolyten zur Katode. Hier werden die Ionen wieder neutralisiert und scheiden sich ab oder fallen aus der Lösunng als Niederschlag aus. Das Material an der Anode nimmt langsam ab.

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Anwendung findet das Verfahren bei Ätztechniken, z.B. in der Halbleitertechnologie. Man kann damit selektiv Metallschichten abtragen, weil sich nicht alle Metalle in einem Elektrolyten gleich gut lösen. Werden gezielt Bereiche eines Werkstücks mit einer Maske abgedeckt, so lassen sich vielfältige Muster auf der Oberfläche erzeugen.