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EpitaxieAls Epitaxie (v. griech. „epi“ - „auf“, „über“ und „taxis“ im Sinne von „ordnen“ bzw. „ausrichten“) wird ein geordnetes Kristallwachstum auf einer Trägerschicht bezeichnet. Die von einem einkristallinen Substrat vorgegebene atomare Ordnung wird auf eine wachsende Schicht übertragen. Abhängig davon, ob Substrat und Schicht aus gleichem oder unterschiedlichem Material bestehen, werden auch die Bezeichnungen Homo- beziehungsweise Heteroepitaxie verwendet. Es gibt unterschiedliche Verfahren der Epitaxie, darunter:
Eingesetzt werden die Epitaxieverfahren vor allem in der Halbleiterindustrie. Weiteres empfehlenswertes Fachwissen
Epitaxie in der MikroelektronikDurch Epitaxie abgeschiedene Silicium-Schichten dienen in der Mikroelektronik als Funktionsbereiche in integrierten Schaltungen. Beim CVD-Verfahren werden bei Temperaturen im Bereich von 600 °C bis 1200 °C aus gasförmigen Siliciumverbindungen (Silan - SiH4, Dichlorsilan - SiH2Cl2, Trichlorsilan - SiHCl3) und Wasserstoff feste Siliciumschichten abgeschieden, die auf einkristallinen Siliciumsubstraten ebenfalls einkristallin und mit gleicher Kristallorientierung wie das Substrat aufwachsen. Durch Zugabe einer gasförmigen Borverbindung (Diboran - B2H6) können p-leitende Schichten bzw. durch eine Phosphorverbindung (Phosphin - PH3) oder durch eine Arsenverbindung (Arsin - AsH3) können n-leitende Siliciumschichten erzeugt werden. Unter Anwendung dieses Verfahrens ist es möglich, hochohmige (also schwach elektrisch leitende) Epitaxieschichten auf niederohmigen Halbleitersubstraten aufzubringen. Aufwachsraten der EpitaxieschichtDie Aufwachsraten in einem Barrelreaktor werden durch zwei Faktoren begrenzt. Anhand der Arrheniusdarstellung (die logarithmische Aufwachsrate wird über 1/Temperatur dargestellt) lassen sich zwei Bereiche kennzeichnen:
Wird ein Epitaxiereaktor in dem einen oder in dem anderen Bereich betrieben, verschwendet man entweder Gas oder Energie. Epitaxie in der MineralogieIn der Mineralogie bezeichnet der Begriff Epitaxie eine orientierte Verwachsung zweier Minerale. Es kann aber auch eine Verwachsung von ein und demselben Mineral sein (z. B. wie bei der Rutilvarietät Sagenit). Ein klassisches Beispiel für Epitaxie bilden der Schriftgranit (Verwachsung von Quarz und Feldspat, wobei die Quarze an Schrift erinnern) und die Verwachsungen von Rutil und Hämatit.
Siehe auchKategorien: Beschichten | Festkörperphysik |
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