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FoturanFoturan ist ein fotosensitives Glas, das von der Firma Schott hergestellt wird. Es handelt sich dabei um ein technisches Glas, das sich bedingt durch seine Fotoempfindlichkeit hervorragend strukturieren lässt. Äquivalente fotosensitive Gläser gibt oder gab es noch von den Firmen Corning (Fotoform) und von Hoya (PEG-3). Weiteres empfehlenswertes Fachwissen
Zusammensetzung und Eigenschaften
BelichtungWenn Licht mit einer Wellenlänge 312 nm durch eine Fotomaske auf das Glas trifft, wird in diesen belichteten Bereichen eine chemische Reaktion gestartet (enthaltenes Ce3+ geht in die energetisch günstigere Form des Ce4+-Zustands über und gibt ein Elektron ab. Das Silber-Ion Ag+ nimmt das Elektron auf und ein Ag-Keim entsteht. Ähnlich wie bei einem Foto, oder einem fotolithographischen Silizium-Strukturierungsprozess zur Chipherstellung.
Das im Foturan vorkommende Antimon fungiert dabei als Stabilisator der Ce3+-Ionen, damit selbige nicht schon vor der Belichtung in den Ce4+-Zustand übergehen. StabilisierungBei einem anschließenden „Temperprozess“ bilden sich an diesen belichteten Bereichen nun Lithiummetasilicate (Glaskeramik). Das sonst amorphe Glas nimmt also in diesen Bereichen eine kristalline Struktur an. Diese Keramik lässt sich mittels Flusssäure, in etwa 20mal schneller ätzen als der „Rest“ des Glases. Somit ist es möglich, Strukturen mit einem Aspektverhältnis von ~10 zu erzeugen. Verwendung
FOTURAN findet hauptsächlich in der Mikrotechnik und in der Mikroreaktionstechnik Anwendung. Es eignet sich zum Beispiel für die Herstellung von Bauteilen für: Mikrotechnik, electronic packaging, mikrofluidische Komponenten, FED Spacer, Biotechnologie (Titerplatten) usw. Durch ein thermisches Diffusionsfügeverfahren ist es zudem möglich, mehrere strukturierte Foturan-Glasschichten miteinander zu verbonden, um somit komplexe dreidimensionale Mikroreaktoren herzustellen.
Quellen
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Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Foturan aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar. |