Hexamethyldisilazan

Strukturformel
Allgemeines
Name	1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazan
Andere Namen	Hexamethyldisilazan, HMDS
Summenformel	C6H19NSi2
CAS-Nummer	999-97-3
Kurzbeschreibung	farblose bis gelb gefärbte Flüssigkeit
Eigenschaften
Molare Masse	161,39 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig
Dichte	0,7742 g·cm−3
Schmelzpunkt	–82 °C
Siedepunkt	126 °C
Dampfdruck	2700 Pa (20 °C)
Sicherheitshinweise
Gefahrstoffkennzeichnung F Leichtent- zündlich C Ätzend R- und S-Sätze R: ? S: ?
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen.

Hexamethyldisilazan, kurz HMDS, Summenformel C₆H₁₉NSi₂, wird vielfach zur Oberflächenmodifikation von Festkörperoberflächen verwendet, so z. B. zur Hydrophobierung von Kieselsäurepartikeln oder zur Verbesserung der Haftung von Photolacken auf Halbleiteroberflächen.

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In der organischen Chemie wird Hexamethyldisilazan u.a. zur Einführung von Trimethylsilyl-Gruppen verwendet. Im Vergleich zu Chlortrimethylsilan ist die Handhabung angenehmer, da Hexamethyldisilazan gegenüber Wasser bzw. Luftfeuchtigkeit recht unempfindlich ist. Außerdem kann auf den Zusatz einer Hilfsbase verzichtet werden, da bei der Silylierung lediglich Ammoniak als Nebenprodukt auftritt. Dafür muss meist eine höhere Reaktionstemperatur angewandt werden, was bei empfindlichen Substraten ein Nachteil sein kann.

Hexamethyldisilazan ist eine farblos bis gelb gefärbte Flüssigkeit mit aminartigem Geruch, die leicht entzündlich ist.