Horde (Halbleitertechnik)

Eine Horde (Halbleitertechnik) ist eine bestimmte Anzahl von Siliziumscheiben (Wafer), die in einer dazu bestimmten speziellen Kunststoffverpackung (Wafer-Carrier) zwischengelagert, über kurze Entfernungen innerhalb des Halbleiterfertigungsprozesses transportiert und in einem Fertigungsschritt gemeinsam gleichzeitig oder nacheinander bearbeitet werden. Dabei bilden eine oder mehrere Horden ein Fertigungslos. Die Anzahl der Wafer pro Horde ist u.a. vom Durchmesser der Siliziumscheiben abhängig. Bei 150 mm und 200 mm Durchmesser besteht eine Horde meist aus 25 Wafern. Wafer einer Horde sind aus demselben Siliziumeinkristall geschnitten und weisen damit in etwa gleiche physikalisch-chemische Eigenschaften wie z.B. Reinheit, Kristall- und Oberflächenstruktur auf.

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Maschinen, die die Wafer nach einem Bearbeitungs- oder Fertigungsschritt einzeln nacheinander oder gemeinsam miteinander in der dazugehörigen Verpackung ablegen, werden als Einhorder bezeichnet.

Entsprechend heißen Maschinen, die Wafer aus einer Verpackung in eine andere umpacken, Umhorder.