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IonenimplantationDie Ionenimplantation ist ein Verfahren zur Einbringung von Fremdatomen in ein Grundmaterial zur Änderung von Materialeigenschaften. Weiteres empfehlenswertes Fachwissen
EinleitungDie Ionenimplantation ist der wichtigste Prozess zur Dotierung von Halbleitern (meist Silizium) zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente. Sie hat hierbei in den meisten Fällen die Diffusion ersetzt. Es gibt jedoch auch zahlreiche Anwendungsmöglichkeiten außerhalb der Mikroelektronik. Typische Dotanten sind:
GrundprinzipDas prinzipielle Verfahren ist der Beschuss von Festkörpern im Hochvakuum mit beschleunigten Ionen. Es lässt sich in folgende Schritte aufteilen:
ParameterDie wichtigsten Parameter zur Charakterisierung der Ionenimplantation sind die Beschleunigungsenergie, die von 500 eV bis 3 MeV reichen kann, und die Implantationsdosis, die im Bereich von 1011 – 1018 cm-2 liegt. Sie bestimmen die Reichweite der Ionen im Festkörper und die Dotierungskonzentration. Veränderte MaterialeigenschaftenMit der Ionenimplantation lassen sich verschiedenste Materialeigenschaften verändern, die je nach Anwendungsgebiet unterschiedlich sind. In der Mikroelektronik dient die Ionenimplantation hauptsächlich der Veränderung der elektrischen Leitfähigkeit und Ladungsträgerbeweglichkeit. Daneben kann eine Veränderung der Farbe, Härte, optischen Eigenschaften, Ätzbarkeit, Haftung, Gasdiffusion und Zusammensetzung eines Materials erreicht werden. Reichweite von Ionen in amorphen FestkörpernBei der Ionenimplantation spielt die Reichweite der Ionen eine entscheidende Rolle. Eine wichtige Theorie zur Beschreibung der Reichweite von Ionen in amorphen Festkörpern wurde 1963 von Lindhard, Scharff und Schiott aufgestellt. Sie ist allgemein als LSS-Theorie bekannt. Prinzip der Abbremsung von IonenPrinzipiell sind fünf verschiedene Abbremsmechanismen für Ionen denkbar:
Praktisch sind jedoch nur die elastischen Stöße mit Atomkernen sowie die unelastischen Stöße mit Elektronen relevant. KenngrößenWichtige Kenngrößen zur Beschreibung der Reichweite von Ionen im Festkörper sind die mittlere projizierte Reichweite, die Reichweitestreuung, die Schiefe und die Kurtosis (in der Statistik allgemeiner bekannt als erstes bis viertes statistisches Moment der Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion): Ausgangspunkt für die HerleitungAusgangspunkt für die Herleitung der Reichweiteschreibung ist die Wahrscheinlichkeitsdichtefunktion:
sowie die allgemeine Reichweiteverteilung:
N: implantierte Dosis Mittlere projizierte ReichweiteDie projizierte Reichweite eines Ions, beschreibt den Abstand des Ions, nachdem es zum liegen gekommen ist, zur Oberfläche. Betrachtet man alle implantierten Ionen und bildet den Mittelwert der projizierten Reichweiten, so erhält man die mittlere projizierte Reichweite Rp. Diese stimmt in der Regel nicht unbedingt mit dem Ort der maximalen Konzentration der implatierten Ionen überein. Mathematisch lässt sich die mittlere projizierte Reichweite wie folgt darstellen: ReichweitestreuungDie Reichweitestreuung ΔRp beschreibt die „Breite der Verteilung“ um die mittlere projizierte Reichweite. Sie lässt sich mathematisch wie folgt beschreiben: SchiefeDie mittlere projizierte Reichweite und die Reichweitestreuung sind geeignet um symmetrische Profile zu beschreiben. Da Implantationsprofile in der Regel jedoch nicht symmetrisch sind müssen zwei weitere Größen definiert werden. Die eine ist die Schiefe, die die Asymmetrie zwischen den beiden Bereichen "links und rechts" von der mittleren projizierten Reichweite angibt. Sie lässt sich mathematisch wie folgt angeben: KurtosisDie zweite Größe ist die Kurtosis, die die Flachheit des Maximums der Verteilung angibt: Tunnelung (Channeling)Bei der Dotierung von monokristallinen Siliziumscheiben besteht je nach Kristallanordnung in der Scheibe die Möglichkeit, dass Ionen aufgrund der gleichmäßigen Kristallstruktur durch die Zwischenräume der Atomen nahezu ungebremst in das Substrat eindringen und erhalten eine unerwünscht hohe Reichweite. Dieser Effekt wird verhindert, indem man die Substratoberfläche um ca. 7° neigt sowie um 22° gegenüber der <100>-Richtung dreht und/oder diese vor der Implantation mit einem dünnen Streuoxid beschichtet. Strahlenschäden und AusheilenBei der Implantation entstehen in Abhängigkeit von der Masse der implantierten Ionen und der Implantationsdosis Strahlenschäden im Kristallgitter des Halbleiters. Daher muss das Substrat nach einem Implantationsschritt ausgeheilt werden. Dies geschieht durch einen Hochtemperaturprozess, bei dem die Fremdatome in das Gitter eingebaut und so elektrisch aktiviert werden und die Gitterstruktur wieder hergestellt wird. Der Ausheilprozess kann durch einen Ofenprozess oder Rapid Thermal Annealing realisiert werden. Vor- und NachteileDie Ionenimplantation bietet gegenüber anderen Verfahren zahlreiche Vorteile, jedoch auch einige Nachteile, die im Folgenden kurz zusammengestellt sind. Nachteile
Vorteile
Siehe auchQuellen & Fußnoten
Literatur
Kategorien: Festkörperphysik | Halbleitertechnologie |
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Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Ionenimplantation aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar. |