Kovar

Kovar -ursprünglich eine Handelsbezeichnung- bezeichnet Legierungen, die einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten (engl. CTE) haben (ca. 5ppm/K, geringer als typische Metalle).

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Zusammensetzung: z. B. Fe54 Ni29 Co17, andere Zusammensetzungen sind möglich.

Einige technische Keramiken (z. B. Aluminiumoxid Al2O3, Aluminiumnitrid AlN) und Halbleitermaterialien haben Wärmeausdehnungskoeffizienten in gleicher Größenordnung. Im Bereich der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik wird deshalb Kovar eingesetzt als Gehäusewerkstoff oder als Submount. Submounts liegen zwischen dem eigentlichen Trägermaterial und Material mit meistens deutlich größerem Ausdehnungskoeffizienten, Sandwichprinzip. Das Kovar-Submount dient also als ausgleichendes Element, welches die durch die unterschiedlichen CTE der anderen Materialien verursachten thermomechanischen Spannungen aufnimmt bzw. verringert.

In gleicher Weise dienen Kovar-Materialien für Metall-Glas-Durchführungen von elektronischen Bauelementen, Materialübergängen in Vakuumkammern u.ä.

Das ähnliche Invar bezeichnet Legierungen mit einem Wärmeausdehnungskoeffizient nahe 0.