LEIS

LEIS (v. engl. Low Energy Ion Scattering, „Niederenergetische Ionenstreuung“, auch ISS = Ionen-Streu-Spektroskopie) ist ein oberflächenanalytisches Verfahren zur elementaren Analyse von Festkörpern.

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Die Analyse erfolgt durch den Beschuss einer sich im Vakuum befindlichen Oberfläche mit Edelgasionen. Die Ionen (meist Helium) haben dabei Energien von 1 - 10 keV und werden an den Atomen in der äußersten Monolage gestreut. Durch den Nachweis der Ionen unter einem bestimmten Winkel zur Beschussrichtung und die Messung der Energie der gestreuten Ionen lässt sich auf die Masse des Atoms schließen, an dem die Streuung stattgefunden hat.