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PlasmabeschichtenDie Plasmabeschichtung ist ein Produktionsverfahren, bei dem Werkstücke aller Art mit dünnen Schichten überzogen werden, welche durch die Einwirkung einer elektrischen Spannung aus einem Plasma extrahiert werden. Weiteres empfehlenswertes FachwissenDas Werkstück wird (nach einer sehr gründlichen Reinigung) in eine Vakuumkammer (es handelt sich fast immer um nicht-thermische Niederdruckplasmen) eingebracht und dort fixiert. Die Kammer wird je nach Verfahren evakuiert bis ein Restgasdruck im Hochvakuum- beziehungsweise Ultrahochvakuum-Bereich erreicht ist. Danach wird über hochempfindliche Ventile ein Arbeitsgas (meist Argon) eingelassen und durch verschiedene Methoden des Energieeintrags (beispielsweise Mikrowellen, HF (Hochfrequenz), elektrische Entladung) ein Niederdruck-Plasma gezündet. Sputterverfahren siehe Sputtern Reaktives Plasma Die abgeschiedenen Schichten finden in vielen Gebieten Einsatz, beispielsweise Optik (Antireflexionsschichten), Produktveredlung (Titannitrid als Goldersatz), Verschleißschutz, Elektronik, Antihaftbeschichtung ... |
Dieser Artikel basiert auf dem Artikel Plasmabeschichten aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar. |