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RCA-ReinigungRCA-Reinigung oder Huang-Reinigung (engl. RCA clean) ist Verfahren zur Scheibenreinigung (Wafer-Reinigung) in der Mikroelektronik. Weiteres empfehlenswertes Fachwissen
EntwicklungDer nasschemische Reinigungsprozess wurde in den 1960er Jahren durch W. Kern und D. Puotinen im Auftrag der Radio Corporation of America entwickelt und 1970 erstmals veröffentlicht [1]. BestandteileDas RCA Verfahren besteht aus zwei verschiedenen Bädern:
Beide Bestandteile werden gewöhnlich bei 75–85 °C und Prozesszeiten von 10 bis 20 Minuten eingesetzt. Standard Clean 1Die Partikelentfernung im SC-1-Bad beruht auf zwei Vorgängen:
Standard Clean 2SC-2 wird verwendet, um metallische (und einige organische) Verunreinigungen des Wafers zu entfernen. Dabei muss man ein hohes Oxidationspotential mit einem niedrigen pH-Wert kombinieren. Dadurch werden Metalle ionisiert und lösen sich in der Säurelösung, welche eine starke Oxidationskraft besitzt. Danach können die Elektronen der metallischen und organischen Verunreinigungen gebunden werden. Metalle werden ionisiert und gelöst, organische Stoffe dagegen zersetzt. Veränderungen des RCA-ProzessesIm Laufe der Zeit wurde der RC-Prozess verändert, da er Chemikalien und hochreines DI-Wasser in sehr großen Mengen verbraucht. Nur wenige Firmen wenden den RCA-Prozess noch in seiner ursprünglichen Form an. Heutzutage werden stark verdünnte Lösungen (bis zu 100 mal dünner) genutzt, sie besitzen die gleiche oder eine bessere Reinigungseffizienz als die Originallösung. Zum Beispiel könnte das Mischungsverhältnis 1:4:50 anstatt 1:1:5 betragen. Zudem sind dünnere Lösungen ein großes Plus an Arbeitssicherheit und Gesundheit und reduzieren den Chemikalienverbrauch drastisch. Grund für den bleibenden Erfolg der RCA-Reinigung ist die gute Verfügbarkeit von Chemikalien und DI-Wasser. Neue Entwicklungen wie die Vor-Ort-Erzeugung der Prozessmedien können sehr hohe Reinheitgrade erreicht werden. Nachteile
Quellen
Literatur
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Dieser Artikel basiert auf dem Artikel RCA-Reinigung aus der freien Enzyklopädie Wikipedia und steht unter der GNU-Lizenz für freie Dokumentation. In der Wikipedia ist eine Liste der Autoren verfügbar. |