Titancarbonitrid

Titancarbonitrid ist ein Mischkristall aus Titannitrid und Titancarbid. Die Verbindung zeichnet sich einerseits durch die extrem hohe Härte des Titancarbids und die chemische Beständigkeit des Titannitrids aus. Besonders bei der Beschichtung von Zerspanungswerkzeugen wird diese Verbindung häufig eingesetzt:

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Herstellung

Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD):

(hier: 50% Titannitrid, 50% Titancarbid)

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD):

Hochtemperaturcarbonitrid

(hier: 50% Titannitrid, 50% Titancarbid)

Mitteltemperaturcarbonitrid

(Immer: 50% Titannitrid 50% Titancarbid)

Vorteil des Mitteltemperaturcarbonitrids ist das gleichmäßige Aufwachsen der Schicht durch die Cyanidgruppe des Acetonitrils. Allerdings kann hier nur 50/50 Carbonitrid hergestellt werden. Wohingegen bei dem HT-Carbonitrid die unterschiedlichen Reaktionsgeschwindigkeiten des Methans und des Stickstoffs eine wesentliche Rolle spielen.