WACKER erweitert Produktion von Chlorwasserstoff für die Halbleiterindustrie am Standort Burghausen

02.08.2023 - Deutschland

WACKER hat am Standort Burghausen eine weitere Produktionslinie für hochreinen Chlorwasserstoff in Betrieb genommen. Die Chemikalie ist ein wichtiges Prozesshilfsmittel für die Halbleiterindustrie.

WACKER

Die Wacker Chemie AG hat den Ausbau ihrer Produktion von hochreinem Chlorwasserstoff am Standort Burghausen abgeschlossen. Mit der Inbetriebnahme der neuen Anlage Mitte Juli wurde die Gesamtkapazität signifikant erhöht. Abnehmer der neu hinzugekommenen Mengen ist die Halbleiterindustrie, die hochreinen Chlorwasserstoff als Ätz- und Reinigungsmedium für die Halbleiterfertigung einsetzt. Die Investitionskosten für die neue Anlage liegen im niedrigen zweistelligen Millionen-Euro-Bereich. Mit dem Kapazitätsausbau stärkt der Chemiekonzern sein Spezialitätenportfolio für die Halbleiterindustrie.

Chlorwasserstoff (HCl) wird in der chemischen Industrie auf vielfältige Weise eingesetzt. Mit dem Reaktionsgas lassen sich aus energiearmen Rohstoffen reaktive Zwischenprodukte herstellen, die für die nachgelagerten Produktionsschritte benötigt werden. WACKER nutzt Chlorwasserstoff beispielsweise für die Herstellung von Siliconen, von hochdisperser pyrogener Kieselsäure und von Polysilicium für die Solar- und Halbleiterindustrie.

Das farblose, wasserlösliche Gas ist auch ein wichtiges Prozesshilfsmittel in der Halbleiterindustrie. Chlorwasserstoff wird zum Ätzen von Reinstsiliciumwafern und zum Reinigen von Anlagenteilen eingesetzt. Um Verunreinigungen zu vermeiden, müssen die verwendeten Medien hochrein sein. „Viele Wettbewerber sind in den letzten Jahren aus Kosten- und Qualitätsgründen aus der Produktion von Chlorwasserstoff ausgestiegen. Dies und die steigende Nachfrage nach Halbleiterbauteilen hat dazu geführt, dass hochreiner Chlorwasserstoff derzeit Mangelware ist“, sagt WACKER-Vorstandsmitglied Christian Kirsten.

WACKER zählt zu den ganz wenigen Unternehmen in Europa, die HCl in der geforderten Qualität und in den benötigten Mengen liefern können. Für die vor kurzem abgeschlossene Erweiterungsmaßnahme samt Infrastruktur wurden am Standort Burghausen Investitionen im niedrigen zweistelligen Millionen-Euro-Bereich getätigt. „Unser Geschäft mit Electronic Chemicals entwickelt sich sehr erfreulich und hat hervorragende Wachstumsperspektiven“, betont Kirsten. „Die Digitalisierung führt nicht nur zu einer wachsenden Nachfrage nach Computerchips, sondern auch nach Prozessmedien wie hochreinem Chlorwasserstoff. Mit der Erweiterung unserer Kapazitäten können wir diesen Bedarf auch in Zukunft bedienen.“

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