Multimodale Analyse von 2D-Materialien mit dem XPS-SEM CISA Workflow

Der Thermo Scientific CISA (Correlative Imaging and Surface Analysis) Workflow wurde verwendet, um die auf einer Siliziumoxidoberfläche abgeschiedenen MoS₂ 2D-Kristalle zu analysieren. CISA kombiniert Rasterelektronenmikroskopie (REM/SEM) und Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) in einem einzigen korrelierten und zeiteffizienten Workflow, der nicht nur Bildgebung und Oberflächenanalyse ermöglicht, sondern auch ergänzende Methoden wie Raman-Spektroskopie einbeziehen kann.

In dieser Fallstudie wurden das Nexsa G2 Oberflächenanalysesystem und das Axia ChemiSEM verwendet. Die kombinierte Anwendung von XPS, Raman und SEM im CISA-Workflow ermöglichte sowohl hochauflösende Bildgebung als auch die chemische Identifizierung der Probenoberfläche an identischen zu untersuchenden Bereichen (ROI’s).

Als Ergebnis konnten sowohl die Oberflächenchemie als auch die Struktur von MoS₂ auf Siliziumoxid eindeutig bestimmt werden. Es wurde auch gezeigt, dass sowohl MoS₂ als auch MoO₃ vorhanden sind und dass die Anzahl der Schichten in verschiedenen Bereichen der Oberfläche variiert.