Richtlinie: Konfokale Mikroskope kalibrieren
Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 (Entwurf): Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von konfokalen Mikroskopen und Tiefeneinstellnormalen
Präzise Aussagen über die Beschaffenheit technischer Oberflächen sind heute für die Industrie unverzichtbar. Zur Qualifizierung von Oberflächen werden dazu konfokale Mikroskope verwendet. Um vergleichbare und rückführbare Messergebnisse zu erhalten ist die Kalibrierung dieser Mikroskope zwingend erforderlich. Die Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 beschreibt ein Verfahren zur rückführbaren Kalibrierung und Charakterisierung von konfokalen Mikroskopen zur Messung der Topologie von Oberflächen.
Mikroskopische Verfahren sind ein wichtiger Bestandteil der Messtechnik zur Bestimmung der Mikro-Topographie von Oberflächen geworden. Verfahren, mittels der die physikalischen Grundprinzipien der Interferenz in zugehörige Oberflächen-Topographien umgesetzt werden, sind in der Richtlinie VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 beschrieben. Gleichzeitig werden Methoden aufgezeigt, mit denen die Konfokalmikroskope in wesentlichen messtechnischen Eigenschaften charakterisiert werden können. Darin eingeschlossen sind die Rückführung und die Berechnung der Messunsicherheit von Geräteeigenschaften und Oberflächenkenngrößen. Die Richtlinie unterstützt den Anwender durch zahlreiche grafische Darstellungen und Tabellen, die Sachverhalte anschaulich darstellen.
Herausgeber des Richtlinienentwurfes VDI/VDE 2655 Blatt 1.2 ist die VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik. Die Ausgabe ersetzt die Richtlinie VDI/VDE 2604.
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