Carl Zeiss gewinnt G.I.T. InnovationsAward 2012 für AURIGA Laser
Der Unternehmensbereich Mikroskopie von Carl Zeiss hatte das FIB-SEM im März diesen Jahres eingeführt. Das System kombiniert die Vorteile der AURIGA CrossBeam-Technologie mit einem Mikro-Fokus-Laser für schnelle Materialabtragung. AURIGA Laser eignet sich besonders für die Untersuchung von Strukturen, die unter anderen Materialschichten verborgen liegen. Der spezielle Laser trägt das darüberliegende Material ab, zerstört die Probe dabei jedoch nicht. Er erreicht Abtragungsraten, die vergleichbar sind mit denen mechanischer Verfahren. Anwendung findet das System beispielsweise in der Halbleiter-, Photovoltaik- oder pharmazeutischen Industrie, bei Polymeren, geophysikalischen und -mechanischen Anwendungen, aber auch in der lebens- wie materialwissenschaftlichen Forschung.
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