ZEISS investiert weitere 60 Mio. Euro in die Erweiterung des Halbleitertechnik-Werks
Zentrum für Lithographie-Optik in Oberkochen soll um 6.000 Quadratmeter erweitert werden
Carl Zeiss AG
Dr. Hermann Gerlinger, Mitglied des Vorstands der Carl Zeiss AG und Leiter der Sparte Semiconductor Manufacturing Technology, erklärt: „ZEISS arbeitet weiter intensiv an der Verwirklichung der innovativen EUV-Lithographie zur Herstellung der Mikrochips von morgen. Die positiven Marktsignale der vergangenen Monate bestärken uns darin, über die jetzige Generation hinaus, schon heute weiter in diese Zukunftstechnologie zu investieren. Das stellt nochmals höhere Anforderungen an unser technologisches Know-how – und an unsere Infrastruktur.“
Insgesamt wird die ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology in den kommenden Jahren mehr als 60 Millionen Euro in den geplanten Ausbau des Zentrums für Lithographie-Optik investieren. Die Produktionsflächen werden um rund 6.000 Quadratmeter erweitert.
Eingesetzt in Waferscanner des niederländischen Kunden ASML ermöglichen EUV-Lithographie-Optiken die Herstellung noch leistungsfähigerer Mikrochips.
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